台灣半導體先驅，張陸滿教授談「半導體與台中半導體晶片製造之廠房設施」

圖為台大土木系名譽教授張陸滿(左)，在講座中，將半導體晶片當「道具」，交給亞大校長蔡進發(右)查看。

亞洲大學24日上午舉辦傑出講座，邀請國立臺灣大學高科技廠房設施研究中心主任、台大土木系名譽教授張陸滿，談「半導體與台中半導體晶片製造之廠房設施」，實體和線上吸引數百位亞大師生參與。張陸滿教授準備了不同時期的晶片當「道具」，深入淺出講解半導體在台灣發展的歷程。

亞大校長蔡進發表示，目前正值低於2奈米半導體晶片製造廠房設施，應用3D產能資訊模擬來規劃掌控汙染、降低震動工程的重要時程，還要運用AI來提升營造能力。張陸滿教授於1977年在工研院完成建造「臺灣第一座積體電路示範工廠」，他提過「要當台灣半導體高科技廠房的終身志工」，在台灣半導體業經歷豐富，還十分慎重，特地準備很多晶片來亞大，相信有很多值得學習處。

張陸滿教授指出，根據統計，台中市2024年的人數有285萬人，其中，半導體員工數有6萬人，還不包括流動人口，台中的半導體廠正在快速發展中，吸引了大量的投資和人才，台積電在台中設有多個廠房，並且正在進行AI技術的導入，台中市將成為半導體HUB(樞紐)。

圖為台大土木系名譽教授張陸滿，準備各種不同時期的晶片、積體電路板解說。

張陸滿教授說，矽是最常被運用的半導體材料，處理器、電晶體、記憶體、各種IC晶片等，都是由以矽為基礎材質的半導體所組成的，矽材質參雜不同元素，在電阻率和導電率之間取得平衡。而積體電路技術從單個晶體管，發展奈米級別的集成電路。他回憶，他於1974年剛進工研院時，台灣正在發展3吋晶圓，但美國已經在發展3毫米晶圓，但現在，台積電已經要推進1.4奈米晶圓。

張陸滿教授表示，半導體技術廣泛應用於電子產品、醫療設備和通信設備中，台灣在半導體製造方面具有全球領先技術和高成功率，台積電正在導入人工智慧技術，來提升半導體製造的效率。但因半導體製造涉及多種學科和技術，需要高度的精確性和純淨的材料，純淨的水質對於半導體製造過程中的清洗、化學處理至關重要，未來的半導體製造，將更加依賴於量子計畫和先進材料完成。

張陸滿教授拿了1片超薄晶片示範，輕輕一敲材料粉碎一地，顯示晶片製造有不少汙染，廢棄物的處理相當重要，現場亞大師長驚呼不已。張教授說，半導體晶片不斷演進，到最先進的3奈米、2奈米製程，廠房系統不但供水供電，廢水、廢液、廢氣、廢棄物的回收處理與再生，如何節能減碳、保護環境生態的永續發展，都是必須考量的環節，有賴進一步研發，來提升台灣的半導體製程環境。

圖為亞大傑出講座，亞大校長蔡進發(前排左)、講者台大土木系名譽教授張陸滿(前排中)、亞大講座教授黃光彩(前排右)，和實體場參與師長，一同拿著張陸滿教授準備的各時期晶片合影。